电子行业水质标准

指 标 名 称

一 级 水（EW-1）

二 级 水（EW-2）

电阻率MΩ.CM. （25℃）

18(95‰时间)不低于17

15(95‰时间)不低于13

硅　　　≤μg/L

2

10

＞1μm　微粒数

0.1

5

细菌个数　≤个/ml

0.01

0.1

铜　　　≤μg/L

0.2

1

锌　　　≤μg/L

0.2

1

镍　　　≤μg/L

0.1

1

钠　　　≤μg/L

0.5

2

钾　　　≤μg/L

0.5

2

氯　　　≤μg/L

1

1

硝酸根　　≤μg/L

1

1

磷酸根　　≤μg/L

1

1

硫酸根　　≤μg/L

1

1

总有机碳　≤μg/L

20

100